|
HG-OE-P 光纖法珀壓力傳感器
HG-OE-P 光纖法珀壓力傳感器是采用MEMS工藝加工的硅芯體進封裝而成的壓力傳感器。其基本原理是采用光纖法珀測量壓力的原理,在硅芯片上通過微加工制成法珀腔,在腔的一端形成對壓力敏感的薄膜,當(dāng)薄膜在承受外在壓力的狀態(tài)下使法珀腔長發(fā)生改變,該腔長的變化量與壓力成正比,因此實現(xiàn)壓力測量。 產(chǎn)品特點
|
|
HG-OE-P 光纖法珀壓力傳感器
HG-OE-P 光纖法珀壓力傳感器是采用MEMS工藝加工的硅芯體進封裝而成的壓力傳感器。其基本原理是采用光纖法珀測量壓力的原理,在硅芯片上通過微加工制成法珀腔,在腔的一端形成對壓力敏感的薄膜,當(dāng)薄膜在承受外在壓力的狀態(tài)下使法珀腔長發(fā)生改變,該腔長的變化量與壓力成正比,因此實現(xiàn)壓力測量。 產(chǎn)品特點
|